液处理装置和液处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010500958.2

申请日：

2020-06-04

公开(公告)号：

CN112071771A

公开(公告)日：

2020-12-11

发明(设计)人：

梶原英树米光祐弥山中晋一郎水篠真一饭田成昭川上浩平东徹

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-11	公开	公开
2022-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200604

共 50 条

[1]

液处理装置和液处理方法 [P].

梶原英树 ;

米光祐弥 ;

山中晋一郎 ;

水篠真一 ;

饭田成昭 ;

川上浩平 ;

东徹 .

日本专利 :CN112071771B ,2025-11-25

[2]

液处理装置和液处理方法 [P].

西健治 ;

竹下和宏 ;

绪方信博 ;

田中晓 ;

沟田昌吾 .

中国专利 :CN102683245B ,2012-09-19

[3]

液处理装置和液处理方法 [P].

冈泽智树 ;

西山雄太 ;

飞松武志 .

日本专利 :CN111863658B ,2025-09-05

[4]

液处理装置和液处理方法 [P].

安藤了至 ;

佐藤尊三 .

中国专利 :CN103372525B ,2013-10-30

[5]

液处理装置和液处理方法 [P].

天井胜 .

中国专利 :CN111819663A ,2020-10-23

[6]

液处理装置和液处理方法 [P].

井手裕幸 ;

志手英男 ;

吉原孝介 .

日本专利 :CN111868882B ,2024-07-05

[7]

液处理装置和液处理方法 [P].

信国力 ;

尾嶋智明 ;

板桥拓也 ;

堀口亮一 ;

若山翔太 .

日本专利 :CN112185845B ,2025-10-17

[8]

液处理装置和液处理方法 [P].

冈泽智树 ;

西山雄太 ;

飞松武志 .

中国专利 :CN111863658A ,2020-10-30

[9]

液处理装置和液处理方法 [P].

三浦拓也 .

中国专利 :CN115509097A ,2022-12-23

[10]

液处理方法和液处理装置 [P].

黄庸根 ;

畠山真一 .

中国专利 :CN114141654A ,2022-03-04

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