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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-06-22 | 授权 | 授权 |
| 2014-04-23 | 公开 | 公开 |
| 2014-05-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582387157 IPC(主分类):C23C 4/04 专利申请号:2012800161534 申请日:20120327 |
| 2022-03-11 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 4/06 申请日:20120327 授权公告日:20160622 终止日期:20210327 |
| 2016-06-22 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101734495097 IPC(主分类):C23C 4/06 专利申请号:2012800161534 变更事项:申请人 变更前:VTT科技研究中心 变更后:芬兰国家技术研究中心股份公司 变更事项:地址 变更前:芬兰埃斯波 变更后:芬兰埃斯波 |