超精密工作台自标定方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510011385.2

申请日：

2005-03-04

公开(公告)号：

CN1667359A

公开(公告)日：

2005-09-14

发明(设计)人：

汪劲松朱煜朱立伟尹文生段广洪

申请人：

申请人地址：

100084北京市北京100084－82信箱

IPC主分类号：

G01B2104

IPC分类号：

G06F1710

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-03-07	授权	授权
2005-09-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种超精密工作台 [P].

陈学东 ;

李巍 ;

罗欣 ;

李小平 .

中国专利 :CN102189413A ,2011-09-21

[2]

一种二维大行程精密工作台测量系统自标定方法 [P].

胡楚雄 ;

朱煜 ;

徐振源 ;

杨进 ;

张鸣 ;

穆海华 ;

胡金春 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

杨开明 ;

刘召 ;

成荣 .

中国专利 :CN104006777A ,2014-08-27

[3]

共基面二维超精密工作台 [P].

于英满 ;

李鹏生 .

中国专利 :CN2148634Y ,1993-12-08

[4]

精密工作台 [P].

格里·B·安蒂 ;

马丁·E·李 .

中国专利 :CN1402830A ,2003-03-12

[5]

精密工作台 [P].

崔凤奎 ;

王晓强 ;

张丰收 ;

杨丙乾 ;

李春梅 ;

高乐 ;

刘朋 ;

薛进学 ;

吕锋 .

中国专利 :CN202462376U ,2012-10-03

[6]

一种精密旋转工作台测量系统误差在位自标定方法 [P].

朱煜 ;

胡楚雄 ;

徐振源 ;

胡金春 ;

徐登峰 ;

张鸣 ;

成荣 ;

杨进 ;

马竞 .

中国专利 :CN102721393B ,2012-10-10

[7]

一种三维大行程精密工作台测量系统自标定方法 [P].

胡楚雄 ;

朱煜 ;

徐振源 ;

杨进 ;

张鸣 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

胡金春 ;

成荣 .

中国专利 :CN104634245A ,2015-05-20

[8]

一种H型二维超精密工作台结构 [P].

石照耀 ;

张斌 ;

林家春 .

中国专利 :CN101746711A ,2010-06-23

[9]

用于超净工作台的清洁装置及超净工作台 [P].

王亚妮 .

中国专利 :CN218422913U ,2023-02-03

[10]

精密回转工作台 [P].

杨灿辉 ;

李先广 ;

廖承渝 ;

周鸿 .

中国专利 :CN203636504U ,2014-06-11

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