一种制备高纯三氯氢硅的装置及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810454678.5
申请日
2018-05-14
公开(公告)号
CN108383125B
公开(公告)日
2018-08-10
发明(设计)人
王生红 曹玲玲 鲍守珍 蔡延国 宗冰 李彦 董海涛 王体虎
申请人
申请人地址
810007 青海省西宁市西宁经济技术开发区金硅路1号
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
C01B33027
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
高纯三氯氢硅的制备方法及装置 [P]. 
张燕南 ;
郭树虎 ;
万烨 ;
赵雄 ;
赵宇 ;
王磊 ;
常欣 ;
袁振军 ;
王国元 ;
张兴毅 ;
郭克涛 ;
郭武辉 .
中国专利 :CN116022789B ,2025-01-28
[2]
一种吸附脱除甲基氯硅烷杂质制备高纯三氯氢硅的装置和方法 [P]. 
王红星 ;
陈锦溢 ;
华超 ;
刘洋 .
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[3]
一种高纯精制三氯氢硅的生产工艺 [P]. 
江庆云 .
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[4]
一种三氯氢硅提纯装置 [P]. 
孙亮 .
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[5]
高纯三氯氢硅热泵精馏生产装置和方法 [P]. 
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王红星 ;
李鑫钢 ;
张瑞玲 ;
张敏革 .
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[6]
制备三氯氢硅的方法 [P]. 
张升学 ;
万烨 ;
严大洲 ;
毋克力 ;
肖荣辉 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
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[7]
利用制备三氯氢硅的装置制备三氯氢硅的方法 [P]. 
司文学 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
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[8]
三氯氢硅歧化反应精馏制备高纯硅烷的装置及方法 [P]. 
黄国强 ;
王国峰 ;
王红星 ;
陈锦溢 .
中国专利 :CN103172071B ,2013-06-26
[9]
一种以三氯氢硅制备高纯硅烷的装置及其方法 [P]. 
周黎旸 ;
童继红 ;
洪江永 ;
葛文锋 ;
徐鑫涛 ;
龚泽鑫 ;
童超丽 .
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[10]
一种利用三氯氢硅制备高纯硅烷气的装置 [P]. 
袁闯 ;
顾建华 ;
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李正宾 .
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