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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-09-03 | 授权 | 授权 |
| 2021-10-29 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20101118 授权公告日:20140903 终止日期:20201118 |
| 2012-10-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101340113354 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2010105489410 申请日:20101118 |
| 2011-06-01 | 公开 | 公开 |