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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-10-07 | 公开 | 公开 |
| 2018-05-01 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 29/70 变更事项:专利权人 变更前:飞兆半导体公司 变更后:飞兆半导体公司 变更事项:地址 变更前:美国缅因州 变更后:美国亚利桑那州 |
| 2012-03-07 | 授权 | 授权 |
| 2010-01-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |