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一种大口径元件表面微缺陷检测与修复的自动化工艺方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111428288.9
申请日：
2021-11-29
公开(公告)号：
CN114113114A
公开(公告)日：
2022-03-01
发明(设计)人：
陈明君 赵林杰 尹朝阳 程健 袁晓东 郑万国 廖威 王海军 张传超
申请人：
申请人地址：
150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
IPC主分类号：
G01N2188
IPC分类号：
G01N2101
代理机构：
黑龙江立超同创知识产权代理有限责任公司 23217
代理人：
杨立超
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-03-01 公开 公开
2022-03-18 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20211129
共 50 条
[1]
一种大口径元件表面微缺陷精确检测工艺方法 [P]. 
程健 ;
尹朝阳 ;
陈明君 ;
赵林杰 ;
袁晓东 ;
郑万国 ;
廖威 ;
王海军 ;
张传超 .
中国专利 :CN114113116A ,2022-03-01
[2]
大口径熔石英光学元件表面微缺陷的自动化激光修复方法 [P]. 
陈明君 ;
尹朝阳 ;
赵林杰 ;
程健 ;
袁晓东 ;
郑万国 ;
廖威 ;
王海军 ;
张传超 .
中国专利 :CN114113111A ,2022-03-01
[3]
一种大口径曲面光学元件表面微缺陷的检测与激光修复装置 [P]. 
陈明君 ;
赵林杰 ;
廖然 ;
郑万国 ;
李省伟 ;
袁晓东 ;
廖威 .
中国专利 :CN105181600B ,2015-12-23
[4]
一种大口径元件表面微缺陷高精度自动定位方法 [P]. 
陈明君 ;
尹朝阳 ;
赵林杰 ;
李小涛 ;
程健 ;
袁晓东 ;
郑万国 ;
廖威 ;
王海军 ;
张传超 .
中国专利 :CN114113115A ,2022-03-01
[5]
大口径熔石英光学元件表面微缺陷快速暗场检测方法 [P]. 
袁晓东 ;
赵林杰 ;
程健 ;
陈明君 ;
廖威 ;
王海军 ;
张传超 ;
陈静 ;
张丽娟 .
中国专利 :CN107356608A ,2017-11-17
[6]
大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置 [P]. 
陈明君 ;
肖勇 ;
蒋琳曦 ;
郭燕秋 ;
廖然 ;
梁迎春 .
中国专利 :CN103692561A ,2014-04-02
[7]
大口径光学元件表面缺陷的检测分类方法 [P]. 
陈坚 ;
吴周令 ;
黄明 .
中国专利 :CN103105400B ,2013-05-15
[8]
大口径精密光学晶体表面微缺陷修复用自动对刀工艺方法 [P]. 
程健 ;
陈明君 ;
左泽轩 ;
刘启 ;
杨浩 ;
赵林杰 ;
王廷章 ;
刘志超 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN108705689B ,2018-10-26
[9]
大口径曲面光学元件微缺陷修复用可微调显微检测装置 [P]. 
陈明君 ;
赵林杰 ;
王海军 ;
郑万国 ;
廖威 ;
袁晓东 ;
廖然 .
中国专利 :CN105181601A ,2015-12-23
[10]
大口径熔石英光学元件表面微缺陷多工位集成修复方法 [P]. 
袁晓东 ;
赵林杰 ;
王海军 ;
陈明君 ;
程健 ;
廖威 ;
白阳 ;
蒋晓龙 ;
栾晓雨 .
中国专利 :CN107389688B ,2017-11-24
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