用于半导体器件的布线层的通孔

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410155336.5
申请日
2014-04-17
公开(公告)号
CN104112704A
公开(公告)日
2014-10-22
发明(设计)人
C·V·亚恩斯 刘小虎 B·C·韦布
申请人
申请人地址
美国纽约
IPC主分类号
H01L21768
IPC分类号
H01L23538
代理机构
北京市中咨律师事务所 11247
代理人
贺月娇;于静
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
具有衬底通孔的半导体器件和制造具有衬底通孔的半导体器件的方法 [P]. 
伯恩哈德·勒夫勒 ;
托马斯·博德纳 ;
耶格·西格特 .
中国专利 :CN113474877A ,2021-10-01
[2]
具有衬底通孔的半导体器件和制造具有衬底通孔的半导体器件的方法 [P]. 
伯恩哈德·勒夫勒 ;
托马斯·博德纳 ;
耶格·西格特 .
:CN113474877B ,2024-08-02
[3]
半导体衬底中的通孔及导电布线层 [P]. 
凯尔·K·柯比 ;
萨拉·A·尼鲁曼德 .
中国专利 :CN102484095A ,2012-05-30
[4]
半导体器件、半导体器件的布线和形成布线的方法 [P]. 
葛原刚 ;
小邑笃 ;
坚田满孝 ;
成濑孝好 .
中国专利 :CN101170091A ,2008-04-30
[5]
用于半导体器件的通孔 [P]. 
埃里克·阿米勒 ;
E·威廉·科威尔三世 .
中国专利 :CN208298810U ,2018-12-28
[6]
具有多个半导体层的半导体器件 [P]. 
苏莱施·温卡特森 ;
马克·C.·福伊希 ;
迈克尔·A.·门迪奇诺 ;
马瑞斯·K.·奥罗斯基 .
中国专利 :CN1973374A ,2007-05-30
[7]
用于半导体器件的通孔及方法 [P]. 
郭家邦 ;
张志毅 ;
谢明晓 ;
詹伟翔 ;
李亚莲 ;
黃建中 ;
林俊杰 ;
苏鸿文 .
中国专利 :CN113793842B ,2024-10-01
[8]
用于半导体器件的通孔及方法 [P]. 
郭家邦 ;
张志毅 ;
谢明晓 ;
詹伟翔 ;
李亚莲 ;
黃建中 ;
林俊杰 ;
苏鸿文 .
中国专利 :CN113793842A ,2021-12-14
[9]
具有自对准通孔的半导体器件 [P]. 
陈建汉 ;
邱建智 ;
梁明中 .
中国专利 :CN111128855A ,2020-05-08
[10]
半导体器件、衬底和用于制造半导体层序列的方法 [P]. 
彼得·施陶斯 ;
帕特里克·罗德 ;
菲利普·德雷克塞尔 .
中国专利 :CN103003917A ,2013-03-27