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金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造掩模的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201711427965.9
申请日：
2014-09-12
公开(公告)号：
CN108203804A
公开(公告)日：
2018-06-26
发明(设计)人：
池永知加雄
宫谷勋
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C23C1402
IPC分类号：
C23C1404
C23C1412
C23C1424
C23F100
C23F102
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
庞东成
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-06-26 | 公开 | 公开 |
| 2018-07-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/02 申请日:20140912 |
| 2021-05-11 | 授权 | 授权 |