蚀刻剂和蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480014911.4

申请日：

2004-11-09

公开(公告)号：

CN1798874A

公开(公告)日：

2006-07-05

发明(设计)人：

齐藤范之吉田卓司井上和式石川诚上原口好夫

申请人：

申请人地址：

日本熊本

IPC主分类号：

C23F116

IPC分类号：

C23F120 C23F126 H01L21306

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

丁香兰

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101006992393 IPC(主分类):C23F 1/16 专利申请号:2004800149114 公开日:20060705
2006-07-05	公开	公开
2008-01-30	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更后权利人:日本东京变更事项:地址变更前权利人:日本熊本登记生效日:20071228 变更事项:申请人变更前权利人:先进显示股份有限公司变更后权利人:三菱化学株式会社变更事项:共同申请人变更前权利人:三菱化学株式会社变更后权利人:三菱电机株式会社
2007-12-19	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

蚀刻剂、蚀刻方法和蚀刻剂制备液 [P].

横沟贵宏 ;

鹤本浩之 ;

柿泽政彦 .

中国专利 :CN105378901B ,2016-03-02

[2]

蚀刻剂及蚀刻方法 [P].

齐藤范之 ;

吉田卓司 ;

井上和武 ;

石川诚 ;

上原口好夫 .

中国专利 :CN1453829A ,2003-11-05

[3]

使用蚀刻剂的蚀刻方法 [P].

石田辉和 ;

出口友香里 ;

佐藤未菜 .

中国专利 :CN103820783A ,2014-05-28

[4]

蚀刻剂、蚀刻方法及蚀刻剂制备液 [P].

松田修 ;

菊池信之 ;

林田一良 ;

白旗里志 .

中国专利 :CN103258727A ,2013-08-21

[5]

蚀刻剂、蚀刻方法及蚀刻剂制备液 [P].

松田修 ;

菊池信之 ;

林田一良 ;

白旗里志 .

中国专利 :CN101903988A ,2010-12-01

[6]

蚀刻剂组合物和方法 [P].

R·J·杜兰特 ;

李承璡 ;

T·P·塔法诺 ;

朴英哲 ;

李俊雨 ;

李承傭 ;

李鉉奎 ;

李喻珍 ;

S·H·张 .

中国专利 :CN102395708A ,2012-03-28

[7]

蚀刻剂及使用它的蚀刻方法 [P].

石田辉和 ;

出口友香里 ;

佐藤未菜 .

中国专利 :CN102560497A ,2012-07-11

[8]

蚀刻方法和蚀刻液 [P].

石川诚 ;

鎌田浩史 .

中国专利 :CN1946877A ,2007-04-11

[9]

铝合金蚀刻剂及铝合金蚀刻方法 [P].

金汉卿 ;

唐从华 .

中国专利 :CN112553628A ,2021-03-26

[10]

干蚀刻剂以及干蚀刻方法 [P].

梅崎智典 ;

日比野泰雄 ;

毛利勇 ;

冈本觉 ;

菊池亚纪应 .

中国专利 :CN103003925B ,2013-03-27

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