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物料传输系统以及物料传输方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811191183.4
申请日：
2018-10-12
公开(公告)号：
CN109300830A
公开(公告)日：
2019-02-01
发明(设计)人：
吴功
冯迪
申请人：
申请人地址：
201112 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
北京维正专利代理有限公司 11508
代理人：
谢绪宁;薛赟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-02-01 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-30 | 授权 | 授权 |
| 2019-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20181012 |