从EUV掩模去除污染物

被引：0

申请号：

CN202210202118.7

申请日：

2022-03-03

公开(公告)号：

CN115016227A

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

廖本男

申请人：

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

G03F182

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈哲锋;乐洪咏

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	公开	公开

共 50 条

[1]

从空间去除污染物 [P].

邸志国 ;

王莉 ;

聂荣宝 ;

刘海林 .

中国专利 :CN111787994A ,2020-10-16

[2]

从废水中去除污染物 [P].

V·凯拉萨姆 ;

K·史密斯 ;

S·斯里兰 ;

S·马沙尔 ;

G·科塔达拉曼 .

中国专利 :CN108779007A ,2018-11-09

[3]

从气流中去除污染物的改进方法 [P].

N·J·苏查克 ;

S·K·纳德卡尼 ;

R·E·凯尔顿 ;

J·M·小科尔提克 .

中国专利 :CN100418611C ,2005-08-31

[4]

从气流中去除污染物的处理 [P].

N·苏查克 .

中国专利 :CN102781824A ,2012-11-14

[5]

从气流中去除污染物的方法 [P].

F·R·费驰 ;

A·古斯博提 ;

H·欧泊梅尔 .

中国专利 :CN108602012A ,2018-09-28

[6]

从气流中去除污染物的装置 [P].

劳伦斯·德贝基 ;

托马斯·A·哈里斯 ;

尤金·凯利 ;

卡里·西鲍 ;

罗伯特·J·麦克唐纳 ;

鲍里斯·雷耶斯 ;

罗伯特·丹齐格 .

中国专利 :CN1248175A ,2000-03-22

[7]

从废气中去除污染物的方法 [P].

N·J·苏查克 .

中国专利 :CN104470622A ,2015-03-25

[8]

从气流中去除污染物的方法 [P].

朱建军 ;

N·苏卡 .

中国专利 :CN102895865A ,2013-01-30

[9]

从有机质中去除污染物 [P].

I·凯兹 .

中国专利 :CN110022692A ,2019-07-16

[10]

从水中去除污染物的方法和装置 [P].

M·E·卡拉曼 .

中国专利 :CN1950302A ,2007-04-18

← 1 2 3 4 5 →