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双向旋转真空镀膜室
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621233707.8
申请日：
2016-11-17
公开(公告)号：
CN206127406U
公开(公告)日：
2017-04-26
发明(设计)人：
许峰
申请人：
申请人地址：
215124 江苏省苏州市吴中区郭巷九盛路333号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
C23C1450
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-04-26 | 授权 | 授权 |
| 2019-11-05 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20161117 授权公告日:20170426 终止日期:20181117 |