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一种扩膜载台治具
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811436468.X
申请日：
2018-11-28
公开(公告)号：
CN109616431A
公开(公告)日：
2019-04-12
发明(设计)人：
吴拓
黄亮
孙涛涛
申请人：
申请人地址：
241000 安徽省芜湖市鸠江区衡山路35号汽车电子创业园A1103-A1104
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548
代理人：
李静
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-12 | 公开 | 公开 |
| 2021-11-02 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20190412 |
| 2019-05-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181128 |