一种四氯化硅氢化炉

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN200920319109.6
申请日
2009-12-30
公开(公告)号
CN201722157U
公开(公告)日
2011-01-26
发明(设计)人
许志斌 梅国刚 谢晓
申请人
申请人地址
614200 四川省峨眉山市符北路88号
IPC主分类号
C01B3303
IPC分类号
C30B2906
代理机构
成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214
代理人
刘雪莲
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种新型四氯化硅热氢化炉热场及热氢化炉 [P]. 
罗旭峰 ;
牛秀敏 ;
陈昶 .
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四氯化硅冷氢化系统 [P]. 
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张升学 ;
杨永亮 ;
石涛 ;
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[3]
一种新型四氯化硅氯化炉 [P]. 
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四氯化硅冷氢化系统和四氯化硅冷氢化方法 [P]. 
张升学 ;
董丽萍 ;
杨永亮 ;
万烨 ;
汤传斌 ;
石涛 ;
严大洲 .
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[5]
一种四氯化硅氢化反应器 [P]. 
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[6]
一种四氯化硅氢化装置 [P]. 
冯泽民 ;
潘和平 ;
谭忠芳 ;
田先瑞 ;
陈文吉 .
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[7]
四氯化硅冷氢化系统 [P]. 
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杨永亮 ;
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[8]
四氯化硅冷氢化系统 [P]. 
董丽萍 ;
张升学 ;
杨永亮 ;
石涛 ;
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一种四氯化硅氢化反应器 [P]. 
施兆武 .
中国专利 :CN106082237A ,2016-11-09
[10]
一种四氯化硅冷氢化装置 [P]. 
周奇 ;
李斌 ;
甘居富 .
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