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底部电极接触石墨舟
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201120093937.X
申请日：
2011-04-01
公开(公告)号：
CN202022971U
公开(公告)日：
2011-11-02
发明(设计)人：
冯银辉
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区沙井街道办沙头茭塘工业区第三排第一栋一至二层
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
C23C1644
H01L3118
代理机构：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287
代理人：
胡海国
法律状态：
著录事项变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-07-22 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101718235324 IPC(主分类):C23C 14/22 专利申请号:201120093937X 变更事项:发明人 变更前:冯银辉 变更后:张志勇;杨宗明;冯银辉 |
| 2013-07-10 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101628623699 IPC(主分类):C23C 14/22 专利号:ZL201120093937X 变更事项:专利权人 变更前:石金精密科技(深圳)有限公司 变更后:深圳市石金科技有限公司 变更事项:地址 变更前:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道办沙头茭塘工业区第三排第一栋一至二层 变更后:518000 广东省深圳市宝安区福永街道大洋路南侧4栋一楼二楼东 |
| 2015-07-22 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101718235323 IPC(主分类):C23C 14/22 专利号:ZL201120093937X 变更事项:专利权人 变更前:深圳市石金科技有限公司 变更后:深圳市石金科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:518000 广东省深圳市宝安区福永街道大洋路南侧4栋一楼二楼东 变更后:518105 广东省深圳市宝安区松岗街道同富裕工业区安润路2号 |
| 2011-11-02 | 授权 | 授权 |
| 2021-04-20 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20110401 授权公告日:20111102 |