温度控制系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202011247665.4
申请日
2020-11-10
公开(公告)号
CN112530779B
公开(公告)日
2021-03-19
发明(设计)人
石生宝 许正军 阚保国 阚杰 曹春生
申请人
申请人地址
214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号
IPC主分类号
H01J3732
IPC分类号
H01L2167
代理机构
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人
戴广志
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
应用于刻蚀工序的温度控制系统 [P]. 
王张柯 ;
童光辉 ;
杜廷卫 .
中国专利 :CN112466782A ,2021-03-09
[2]
温度控制系统及其控制方法 [P]. 
山胁正胜 ;
佐佐木勇 ;
酒井胜敏 ;
佐藤圭辅 .
中国专利 :CN114585869A ,2022-06-03
[3]
温度控制系统 [P]. 
勒妮·马泰斯·万斯德隆克 .
中国专利 :CN101046312B ,2007-10-03
[4]
温度控制系统 [P]. 
祁劭峰 ;
胡先蓉 .
中国专利 :CN1530787A ,2004-09-22
[5]
温度控制系统以及温度控制方法 [P]. 
许瑞 ;
张如意 ;
陈桂霆 ;
万云武 ;
陈晓东 ;
汪隽清 ;
石江涛 .
中国专利 :CN117826906A ,2024-04-05
[6]
温度控制系统和温度控制方法 [P]. 
小林敦 ;
三村和弘 .
日本专利 :CN114072746B ,2024-03-15
[7]
温度控制系统和温度控制方法 [P]. 
小林敦 ;
三村和弘 .
中国专利 :CN114072746A ,2022-02-18
[8]
温度控制系统和温度控制方法 [P]. 
朱立明 ;
黄露 .
中国专利 :CN113934244B ,2022-01-14
[9]
一种温度控制系统 [P]. 
李小平 ;
徐毅之 .
中国专利 :CN112306120B ,2021-02-02
[10]
模具温度控制系统 [P]. 
清水健一 ;
川本贵弘 ;
三浦隆 .
中国专利 :CN114101627A ,2022-03-01