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用于驱动探针运动的压电陶瓷执行器及其驱动控制系统
被引：0
申请号：
CN202210238124.8
申请日：
2022-03-11
公开(公告)号：
CN114646862A
公开(公告)日：
2022-06-21
发明(设计)人：
吴浩
时梦想
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园留学人员(龙岗)创业园332、333室
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
代理机构：
深圳市恒和大知识产权代理有限公司 44479
代理人：
林大超
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-21 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20220311 |