薄膜晶体管制造方法及薄膜晶体管

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专利类型
发明
申请号
CN00108644.8
申请日
2000-05-09
公开(公告)号
CN1273436A
公开(公告)日
2000-11-15
发明(设计)人
古田守 相马功儿
申请人
申请人地址
日本国大阪府
IPC主分类号
H01L21336
IPC分类号
H01L29786
代理机构
上海专利商标事务所
代理人
张政权
法律状态
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
国省代码
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共 50 条
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