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一种真空镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921060311.1
申请日：
2019-07-09
公开(公告)号：
CN210314461U
公开(公告)日：
2020-04-14
发明(设计)人：
蒋浩峰
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市张浦镇南港紫荆路15号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
C23C1450
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-04-14 | 授权 | 授权 |