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一种氮化镓器件的制备方法及氮化镓器件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111278989.9
申请日：
2021-10-31
公开(公告)号：
CN114023645A
公开(公告)日：
2022-02-08
发明(设计)人：
郭芬
苏康
李拓
申请人：
申请人地址：
250000 山东省济南市中国（山东）自由贸易试验区济南片区浪潮路1036号浪潮科技园S01楼35层
IPC主分类号：
H01L21335
IPC分类号：
H01L29778
代理机构：
北京连和连知识产权代理有限公司 11278
代理人：
杨帆;张元
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/335 申请日:20211031 |
| 2022-02-08 | 公开 | 公开 |