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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-08-25 | 授权 | 授权 |
| 2010-01-27 | 专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) | 专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更事项:申请人 变更前权利人:日本阿西斯特技术株式会社 变更后权利人:村田自动化机械有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:日本三重县 变更后权利人:日本京都府 登记生效日:20091225 |
| 2013-06-05 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101604413413 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2008100852595 变更事项:专利权人 变更前权利人:村田自动化机械有限公司 变更后权利人:村田机械株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本京都府 变更后权利人:日本京都府 登记生效日:20130513 |
| 2008-10-01 | 公开 | 公开 |
| 2020-03-10 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20080310 授权公告日:20100825 终止日期:20190310 |
| 2008-11-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |