表面处理设备和表面处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780102156.9

申请日：

2007-11-02

公开(公告)号：

CN101971298A

公开(公告)日：

2011-02-09

发明(设计)人：

清野拓哉池本学真下公子

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-02-09	公开	公开
2013-08-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101648871651 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2007801021569 申请公布日:20110209
2011-03-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101059705180 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2007801021569 申请日:20071102

共 50 条

[1]

表面处理设备和表面处理方法 [P].

尹荣秀 ;

池昇炫 ;

李锡熙 ;

李江洙 ;

禹盛弼 ;

孙永辰 .

中国专利 :CN105658841A ,2016-06-08

[2]

表面处理设备及表面处理方法 [P].

俞昇男 ;

金善一 .

中国专利 :CN114433561A ,2022-05-06

[3]

表面处理设备及表面处理方法 [P].

俞昇男 ;

金善一 .

韩国专利 :CN114433561B ,2024-08-09

[4]

表面处理方法以及表面处理设备 [P].

枥下佳己 ;

藤原好雄 ;

浅贝义宏 ;

太田垣谦 .

中国专利 :CN100355936C ,2005-08-17

[5]

表面处理支承装置、表面处理支架、表面处理方法，以及表面处理设备 [P].

枥下佳己 ;

藤原好雄 ;

浅贝义宏 ;

太田垣谦 .

中国专利 :CN1207435C ,2000-04-19

[6]

表面处理方法及设备 [P].

外崎峰广 ;

小林正人 ;

植田充纪 ;

冲田裕之 .

中国专利 :CN1275790A ,2000-12-06

[7]

用于SiC衬底的表面处理设备和表面处理方法 [P].

青木一史 ;

丸野尚纪 ;

巴赫曼·苏丹尼 ;

加藤裕也 ;

高武恭平 ;

向田慎二 ;

富坂学 ;

石原康生 ;

中泽秀作 ;

山口哲司 .

中国专利 :CN115464546A ,2022-12-13

[8]

表面处理方法和表面处理装置 [P].

井上弘之 ;

山西一臣 ;

平松真一 ;

山本出 .

中国专利 :CN107523783B ,2017-12-29

[9]

表面处理设备和方法 [P].

奥格年·弗尔多利亚克 ;

丹·英尼斯 .

中国专利 :CN112998611A ,2021-06-22

[10]

表面处理设备和方法 [P].

奥格年·弗尔多利亚克 ;

丹·英尼斯 .

中国专利 :CN107708516B ,2018-02-16

← 1 2 3 4 5 →