深沟槽型超级结器件的制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610064082.5
申请日
2016-01-29
公开(公告)号
CN105702710A
公开(公告)日
2016-06-22
发明(设计)人
李昊
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号
H01L2906
IPC分类号
代理机构
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人
王江富
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
引用
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共 50 条
[1]
沟槽型超级结器件的制造方法 [P]. 
徐向明 ;
李昊 .
中国专利 :CN104779293B ,2015-07-15
[2]
沟槽型超级结的制造方法 [P]. 
李昊 .
中国专利 :CN105702709A ,2016-06-22
[3]
沟槽型超级结的制造方法 [P]. 
李昊 .
中国专利 :CN107045973A ,2017-08-15
[4]
沟槽型超级结的制造方法 [P]. 
李昊 .
中国专利 :CN105679660B ,2016-06-15
[5]
沟槽型超级结的制造方法 [P]. 
李昊 .
中国专利 :CN107068735A ,2017-08-18
[6]
深沟槽结构、超级结器件及其制造方法 [P]. 
杜发瑞 ;
梁海明 .
中国专利 :CN120813024A ,2025-10-17
[7]
深沟槽型超级结器件及其制作方法 [P]. 
杜发瑞 ;
冯海浪 .
中国专利 :CN111370305A ,2020-07-03
[8]
沟槽型超级结器件的制造方法 [P]. 
李昊 .
中国专利 :CN105655385B ,2016-06-08
[9]
沟槽型超级结及其制造方法 [P]. 
孔蔚然 ;
李昊 .
中国专利 :CN108022924A ,2018-05-11
[10]
沟槽型超级结的制造方法 [P]. 
李昊 .
中国专利 :CN105575781B ,2016-05-11