一种磁流变流体动压复合抛光装置及其抛光方法

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专利类型
发明
申请号
CN201610352311.3
申请日
2016-05-24
公开(公告)号
CN105922125B
公开(公告)日
2016-09-07
发明(设计)人
路家斌 梁华卓 阎秋生 陈润
申请人
申请人地址
510062 广东省广州市越秀区东风东路729号
IPC主分类号
B24B3710
IPC分类号
B24B3730 B24B3734 B24B3110 C09G102
代理机构
广东广信君达律师事务所 44329
代理人
杨晓松
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
一种磁流变流体动压复合抛光装置 [P]. 
梁华卓 ;
路家斌 ;
阎秋生 ;
陈润 .
中国专利 :CN205765541U ,2016-12-07
[2]
一种凸轮驱动磁体式磁流变流体动压抛光装置及抛光方法 [P]. 
路家斌 ;
梁华卓 ;
汤彪 .
中国专利 :CN106826411A ,2017-06-13
[3]
一种凸轮驱动磁体式磁流变流体动压抛光装置 [P]. 
路家斌 ;
梁华卓 ;
汤彪 .
中国专利 :CN206567926U ,2017-10-20
[4]
一种半导体基片的流体动压抛光装置及其抛光方法 [P]. 
路家斌 ;
梁华卓 ;
阎秋生 ;
陈润 .
中国专利 :CN105922124A ,2016-09-07
[5]
一种磁流变抛光装置、抛光方法及抛光工件 [P]. 
吴勇波 ;
乔先鹏 ;
陈威 ;
王富全 .
中国专利 :CN114043318A ,2022-02-15
[6]
一种螺旋形流体动压抛光垫及其抛光方法 [P]. 
林彬 ;
姜向敏 ;
曹中臣 .
中国专利 :CN110480497A ,2019-11-22
[7]
一种动态磁场磁流变抛光装置及抛光方法 [P]. 
潘继生 ;
蔡志航 ;
阎秋生 ;
罗斌 .
中国专利 :CN111069984A ,2020-04-28
[8]
一种动态磁场磁流变抛光装置及抛光方法 [P]. 
潘继生 ;
蔡志航 ;
阎秋生 ;
罗斌 .
中国专利 :CN111069984B ,2024-04-09
[9]
一种磁流变抛光装置、抛光加工方法、应用 [P]. 
单明星 ;
卢明明 ;
庄绪龙 ;
林洁琼 ;
夏岩岩 ;
李锦艳 .
中国专利 :CN112296862A ,2021-02-02
[10]
一种磁流变抛光装置、抛光加工方法、应用 [P]. 
单明星 ;
卢明明 ;
庄绪龙 ;
林洁琼 ;
夏岩岩 ;
李锦艳 .
中国专利 :CN112296862B ,2024-08-27