微机电(MEMS)法布里-珀罗干涉仪、其制造装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880043636.0

申请日：

2018-06-29

公开(公告)号：

CN110809711A

公开(公告)日：

2020-02-18

发明(设计)人：

H·萨里郭斌 A·里萨南

申请人：

申请人地址：

芬兰埃斯波

IPC主分类号：

G01J326

IPC分类号：

G02B2600 G01B902 G02B528 B81B300 B81B700 G01J345 G01J302

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

傅远

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 3/26 申请日:20180629
2020-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

微机电(MEMS)法布里-珀罗干涉仪、其制造装置和方法 [P].

H·萨里 ;

郭斌 ;

A·里萨南 .

:CN119197765A ,2024-12-27

[2]

法布里-珀罗干涉仪-单元和用于制造法布里-珀罗干涉仪-单元的方法 [P].

C.休伯 ;

C.谢林 ;

C.D.克雷默 ;

M.施密德 ;

R.罗德尔 ;

B.斯坦因 .

中国专利 :CN110702224A ,2020-01-17

[3]

法布里-珀罗干涉仪 [P].

种村友贵 ;

山下秀一 ;

和户弘幸 ;

竹内幸裕 .

中国专利 :CN103513415A ,2014-01-15

[4]

微机械可调法布里-珀罗干涉仪及其制造方法 [P].

米科·图奥希涅米 .

中国专利 :CN103733035B ,2014-04-16

[5]

用于法布里‑珀罗干涉仪的镜板以及法布里‑珀罗干涉仪 [P].

A.瓦普拉 ;

M.普伦尼拉 ;

K.格里戈拉斯 .

中国专利 :CN107430032A ,2017-12-01

[6]

变间隙法布里珀罗干涉仪 [P].

岳松 ;

刘品伟 ;

王红勇 ;

钱凯 ;

胡志强 .

中国专利 :CN120488940A ,2025-08-15

[7]

微机械可调法布里珀罗干涉仪、中间产品及其制造方法 [P].

马尔蒂·布卢姆伯格 .

中国专利 :CN102449447B ,2012-05-09

[8]

微机械可调法布里-珀罗干涉仪装置及其生产方法 [P].

亚尔科·安蒂拉 ;

马尔蒂·布卢姆伯格 .

中国专利 :CN103487931A ,2014-01-01

[9]

法布里‑珀罗干涉仪及其生产方法 [P].

塔帕尼·安蒂拉 ;

尤西·梅克伊嫩 ;

克里斯特·霍尔姆隆德 ;

亚尔科·安蒂拉 ;

于尔基·奥利拉 ;

海基·萨里 .

中国专利 :CN104428642B ,2015-03-18

[10]

微透镜光纤法布里－珀罗干涉仪 [P].

江毅 ;

唐才杰 .

中国专利 :CN101178464A ,2008-05-14

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