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减压干燥装置及减压干燥方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910732932.8
申请日：
2019-08-09
公开(公告)号：
CN111883688A
公开(公告)日：
2020-11-03
发明(设计)人：
林杰
申请人：
申请人地址：
510000 广东省广州市广州中新广州知识城凤凰三路17号自编五栋388
IPC主分类号：
H01L5156
IPC分类号：
H01L5150
H01L3300
H01L3306
G09F933
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
王南杰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/56 申请日:20190809 |
| 2020-11-03 | 公开 | 公开 |