一种PECVD设备加热装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010047226.2
申请日
2020-01-16
公开(公告)号
CN113122826A
公开(公告)日
2021-07-16
发明(设计)人
罗才旺 龚俊
申请人
申请人地址
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
IPC主分类号
C23C1650
IPC分类号
C23C1652
代理机构
湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008
代理人
徐好
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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