一种高纯硅加工用酸洗后酸碱平衡设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201920958145.0
申请日
2019-06-25
公开(公告)号
CN210176467U
公开(公告)日
2020-03-24
发明(设计)人
余水金 汪天培
申请人
申请人地址
365000 福建省三明市将乐县积善工业园区鹏程大道2号
IPC主分类号
C01B33037
IPC分类号
C01B3302
代理机构
北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340
代理人
曾捷
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种高纯硅加工用酸洗后酸碱平衡设备 [P]. 
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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