薄片剥离装置及剥离方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200710139176.5
申请日
2007-07-20
公开(公告)号
CN101110353A
公开(公告)日
2008-01-23
发明(设计)人
吉冈孝久 杉下芳昭
申请人
申请人地址
日本国东京都板桥区本町23-23
IPC主分类号
H01L2100
IPC分类号
H01L2167
代理机构
上海恩田旭诚知识产权代理有限公司
代理人
丁国芳
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
薄片剥离装置及剥离方法 [P]. 
加藤秀昭 .
中国专利 :CN101998929A ,2011-03-30
[2]
薄片剥离装置及剥离方法 [P]. 
小林贤治 ;
吉冈孝久 ;
高野健 .
中国专利 :CN102138208A ,2011-07-27
[3]
薄片剥离装置及剥离方法 [P]. 
小林贤治 .
中国专利 :CN102144287B ,2011-08-03
[4]
薄片剥离装置及剥离方法 [P]. 
吉冈孝久 ;
高野健 .
中国专利 :CN102187448B ,2011-09-14
[5]
剥离装置及剥离方法 [P]. 
远藤幸一郎 .
中国专利 :CN102666333B ,2012-09-12
[6]
剥离装置及剥离方法 [P]. 
张伟 .
中国专利 :CN110690158B ,2020-01-14
[7]
剥离装置及剥离方法 [P]. 
上野博之 ;
川越理史 ;
柳田隆明 ;
正司和大 ;
增市干雄 .
中国专利 :CN104802498A ,2015-07-29
[8]
剥离装置及剥离方法 [P]. 
阿部浩幸 ;
川合涉史 ;
大泽曜彰 ;
由良友和 ;
朝仓円 .
中国专利 :CN104924732B ,2015-09-23
[9]
剥离装置及剥离方法 [P]. 
张敏 .
中国专利 :CN113086739B ,2021-07-09
[10]
剥离方法及剥离装置 [P]. 
上野美佳 .
中国专利 :CN105729981A ,2016-07-06