硼系膜的成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910242435.X

申请日：

2019-03-28

公开(公告)号：

CN110318034A

公开(公告)日：

2019-10-11

发明(设计)人：

渡部佳优冈正浩李金望山本勇生上田博一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1628

IPC分类号：

C23C1638 C23C1650 C23C1652 H01L213065

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/28 申请日:20190328
2019-10-11	公开	公开
2022-07-22	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/28 申请公布日:20191011

共 50 条

[1]

成膜装置和成膜方法 [P].

山涌纯 .

中国专利 :CN112135925A ,2020-12-25

[2]

氮化硼膜的成膜方法和成膜装置 [P].

酒井宗一朗 ;

后藤一希 ;

加藤良裕 .

日本专利 :CN120464983A ,2025-08-12

[3]

碳系膜的成膜方法和成膜装置 [P].

光成正 ;

进藤崇央 .

日本专利 :CN120505607A ,2025-08-19

[4]

成膜方法、硼膜以及成膜装置 [P].

上田博一 ;

冈正浩 ;

石川拓 ;

渡部佳优 ;

米泽周平 .

中国专利 :CN108220922A ,2018-06-29

[5]

氮化硼膜的成膜方法和成膜装置 [P].

后藤一希 ;

加藤良裕 ;

酒井宗一朗 .

日本专利 :CN120119225A ,2025-06-10

[6]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103572259A ,2014-02-12

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

布重裕 ;

山崎英亮 .

中国专利 :CN102433546B ,2012-05-02

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

大槻志门 ;

小山峻史 ;

向山廉 ;

小川淳 ;

吹上纪明 .

中国专利 :CN112391607A ,2021-02-23

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

小山峻史 ;

大槻志门 ;

向山廉 ;

吹上纪明 ;

小川淳 .

日本专利 :CN112391612B ,2024-07-09

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

高藤哲也 ;

藤永元毅 ;

渡边幸夫 .

中国专利 :CN110777358B ,2020-02-11

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