一种支撑盘、机械手以及传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120678203.1

申请日：

2021-03-31

公开(公告)号：

CN215183898U

公开(公告)日：

2021-12-14

发明(设计)人：

邓旺财李青格乐陈鲁

申请人：

申请人地址：

518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

陕芳芳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种机械手传送装置 [P].

杨一鸣 ;

林封江 ;

杨仲件 .

中国专利 :CN204400157U ,2015-06-17

[2]

一种机械手传送装置 [P].

任瑞兰 ;

任平 ;

任泽年 .

中国专利 :CN220787340U ,2024-04-16

[3]

一种机械手袖套以及机械手 [P].

王维强 ;

郭竹青 ;

邹娜 ;

陈荣龙 ;

杨琪文 ;

宫晶 ;

钱烨 ;

闫秀成 .

中国专利 :CN212331097U ,2021-01-12

[4]

一种机械手及使用该机械手的晶圆传送盘 [P].

王守建 ;

安云福 .

中国专利 :CN201455993U ,2010-05-12

[5]

机械手传送抓取装置 [P].

王明明 ;

王国金 ;

杜陈勇 .

中国专利 :CN220741198U ,2024-04-09

[6]

一种机械手臂以及机械手装置 [P].

陈玉辉 ;

陈明均 ;

朱柏龙 .

中国专利 :CN221111888U ,2024-06-11

[7]

一种机械手传送系统 [P].

毛东旭 ;

于书洋 ;

王浩 ;

祝晓钊 ;

冯敏强 .

中国专利 :CN214934010U ,2021-11-30

[8]

一种机械手臂、机械手及传送设备 [P].

陈磊 ;

王威 ;

代伍坤 ;

安杨 .

中国专利 :CN203185356U ,2013-09-11

[9]

一种机械手洗盘装置 [P].

林勇飞 .

中国专利 :CN208808408U ,2019-05-03

[10]

一种机械手摆盘装置 [P].

赵小成 .

中国专利 :CN221135896U ,2024-06-14

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