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磁控管阴极组件输送定位线
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122071527.1
申请日：
2021-08-31
公开(公告)号：
CN215834496U
公开(公告)日：
2022-02-15
发明(设计)人：
殷国辉
申请人：
申请人地址：
528434 广东省中山市阜沙镇东威大道11号厂房三2至3楼
IPC主分类号：
H01J918
IPC分类号：
H01J948
H01J2304
代理机构：
广州恒华智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44299
代理人：
廖金燕
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-15 | 授权 | 授权 |