一种硅上直接生长高掺杂钇铁石榴石薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610107438.9

申请日：

2016-02-26

公开(公告)号：

CN105714379B

公开(公告)日：

2016-06-29

发明(设计)人：

毕磊张燕王闯堂邓龙江

申请人：

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

IPC主分类号：

C30B2928

IPC分类号：

C30B2300

代理机构：

电子科技大学专利中心 51203

代理人：

张杨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-29	公开	公开
2016-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101671894656 IPC(主分类):C30B 29/28 专利申请号:2016101074389 申请日:20160226
2018-07-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种稀土掺杂钇铁石榴石单晶薄膜、制备方法及其应用 [P].

潘丽宁 ;

周婷婷 ;

谭果果 ;

满其奎 .

中国专利 :CN115323494A ,2022-11-11

[2]

钇铁石榴石薄膜材料及制备方法 [P].

张怀武 ;

杨青慧 ;

刘颖力 ;

文岐业 ;

李元勋 ;

张艳霞 ;

贾利军 .

中国专利 :CN101148753A ,2008-03-26

[3]

基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法 [P].

沈涛 ;

代海龙 .

中国专利 :CN106498352A ,2017-03-15

[4]

一种钇铁石榴石薄膜及其制备方法 [P].

董显林 ;

郭新 ;

陈莹 ;

王根水 .

中国专利 :CN104193316A ,2014-12-10

[5]

一种钇铁石榴石薄膜的外延生长方法 [P].

王学锋 ;

陈业全 ;

钮伟 ;

徐永兵 ;

张荣 .

中国专利 :CN106048726B ,2016-10-26

[6]

钇铁石榴石薄膜材料及其制备方法 [P].

董显林 ;

连建芸 ;

陈莹 ;

王根水 .

中国专利 :CN105331942A ,2016-02-17

[7]

钇铁石榴石薄膜结构及制备方法 [P].

杨青慧 ;

张怀武 ;

刘颖力 ;

文岐业 ;

李元勋 ;

贾利军 ;

唐晓莉 .

中国专利 :CN101311374B ,2008-11-26

[8]

一种利用液相外延制备稀土掺杂钇铁石榴石薄膜的方法 [P].

罗毅 ;

龚瑞 ;

赵建华 .

中国专利 :CN119041012A ,2024-11-29

[9]

一种Si基钇铁石榴石薄膜的制备方法 [P].

王旭亮 ;

阎文博 ;

李菲菲 ;

李少北 ;

樊博麟 .

中国专利 :CN108239768A ,2018-07-03

[10]

一种生长稀土掺杂钇铁石榴石单晶材料的方法 [P].

龙西法 ;

杨晓明 ;

苏榕冰 ;

何超 ;

王祖建 .

中国专利 :CN114182339A ,2022-03-15

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