一种等离子刻蚀方法及等离子刻蚀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710002475.8

申请日：

2017-01-03

公开(公告)号：

CN106504971B

公开(公告)日：

2017-03-15

发明(设计)人：

李宛泽刘轩刘祖宏

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-16	授权	授权
2017-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101712769841 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2017100024758 申请日:20170103
2017-03-15	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

李可 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN119028797B ,2024-12-31

[2]

等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

李可 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN119028797A ,2024-11-26

[3]

等离子刻蚀承载装置及等离子刻蚀机 [P].

丁烨滨 ;

胡根水 ;

孙虎 ;

李俊生 .

中国专利 :CN110299278B ,2019-10-01

[4]

等离子刻蚀机清洁装置、方法及等离子刻蚀机 [P].

张彬彬 ;

苏财钰 ;

张涛 ;

苟先华 ;

肖峰 .

中国专利 :CN117766367A ,2024-03-26

[5]

等离子刻蚀装置 [P].

赵亮亮 ;

姚森 ;

谢飞 ;

邵克坚 ;

王猛 ;

张文杰 ;

朱宏斌 .

中国专利 :CN214099573U ,2021-08-31

[6]

等离子刻蚀装置 [P].

谢飞 ;

姚森 ;

赵亮亮 ;

张文杰 ;

邵克坚 ;

王猛 ;

朱宏斌 .

中国专利 :CN214099574U ,2021-08-31

[7]

等离子刻蚀装置 [P].

叶璘珂 ;

陈诚 ;

张德伟 ;

荆泉 .

中国专利 :CN222190625U ,2024-12-17

[8]

等离子刻蚀装置 [P].

姚森 ;

谢飞 ;

张文杰 ;

邵克坚 ;

王猛 ;

赵亮亮 ;

朱宏斌 .

中国专利 :CN214099572U ,2021-08-31

[9]

等离子刻蚀方法 [P].

吴汉明 .

中国专利 :CN101153396B ,2008-04-02

[10]

等离子刻蚀装置 [P].

斯蒂芬·R·伯吉斯 ;

安东尼·P·威尔比 .

中国专利 :CN105632863A ,2016-06-01

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