一种检测设备及其聚焦方法和检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910325349.5

申请日：

2019-04-22

公开(公告)号：

CN111830057A

公开(公告)日：

2020-10-27

发明(设计)人：

陈鲁崔高增黄有为王天民

申请人：

申请人地址：

518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

IPC主分类号：

G01N2195

IPC分类号：

代理机构：

深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285

代理人：

王仲凯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/95 申请日:20190422
2021-02-12	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G01N 21/95 变更事项:申请人变更前:深圳中科飞测科技有限公司变更后:深圳中科飞测科技股份有限公司变更事项:地址变更前:518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 变更后:518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
2020-10-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种自动聚焦方法、半导体的检测方法和检测设备 [P].

张鹏斌 ;

张学彬 ;

郭凇铭 ;

胡诗铭 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN119882267A ,2025-04-25

[2]

一种检测设备及其对准方法和检测方法 [P].

陈鲁 ;

黄有为 .

中国专利 :CN113514478A ,2021-10-19

[3]

一种检测设备及其对准方法和检测方法 [P].

陈鲁 ;

黄有为 .

中国专利 :CN113514478B ,2025-05-06

[4]

检测设备及聚焦检测方法 [P].

王效丽 .

中国专利 :CN104123956A ,2014-10-29

[5]

一种发光装置及其聚焦方法、检测设备 [P].

陈鲁 ;

王秋实 ;

张朝前 ;

季鹏 ;

王南朔 ;

何柳 ;

张嵩 .

中国专利 :CN112539705A ,2021-03-23

[6]

检测设备和检测方法 [P].

陈鲁 ;

李志强 ;

王天民 ;

张嵩 .

中国专利 :CN114234835B ,2025-03-14

[7]

检测设备和检测方法 [P].

陈鲁 ;

李志强 ;

王天民 ;

张嵩 .

中国专利 :CN114234835A ,2022-03-25

[8]

检测设备和检测方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

古凯男 .

中国专利 :CN111351448B ,2020-06-30

[9]

一种检测设备和检测方法 [P].

沈相健 ;

薛坤伦 ;

程锋 ;

李豪 ;

叶黎剑 ;

王启廷 ;

金鑫 ;

黄源 .

中国专利 :CN117871527A ,2024-04-12

[10]

一种检测设备和检测方法 [P].

姜红光 .

中国专利 :CN107588748A ,2018-01-16

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