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用于气体集成输送系统的质量流量控制装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910777538.6
申请日：
2019-08-22
公开(公告)号：
CN112416027A
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
徐蠡
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市惠山区洛社镇秦巷村西沈巷107
IPC主分类号：
G05D706
IPC分类号：
代理机构：
无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262
代理人：
赵华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-26 | 公开 | 公开 |