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一种无线充电用芯片加工用适用范围广的刻蚀装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011205036.5
申请日：
2020-11-02
公开(公告)号：
CN112309920A
公开(公告)日：
2021-02-02
发明(设计)人：
黄毅
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区竹园路209号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21677
H01L21687
B08B100
B08B504
B08B702
代理机构：
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385
代理人：
刘巍
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201102 |
| 2021-02-02 | 公开 | 公开 |