共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1999-01-13 | 著录项目变更 | 著录项目变更 变更事项:专利权人 变更前:底古萨股份公司 变更后:ALD真空技术有限公司 变更事项:地址 变更前:德国法兰克福 变更后:德国埃伦塞 |
| 2003-04-09 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更事项:专利权人 变更前:ALD真空技术有限公司 变更后:ALD真空技术股份公司 |
| 1992-09-02 | 授权 | 授权 |
| 1989-08-22 | 实质审查请求 | 实质审查请求 |
| 1991-12-11 | 审定 | 审定 |
| 2002-04-24 | 其他有关事项 | 其他有关事项 |
| 1989-07-11 | 公开 | 公开 |
| 2009-02-11 | 专利权的终止(专利权有效期届满) | 专利权的终止(专利权有效期届满) |