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热处理装置和热处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010667579.2
申请日：
2020-07-13
公开(公告)号：
CN112289701A
公开(公告)日：
2021-01-29
发明(设计)人：
佐野要平
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳;徐飞跃
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-29 | 公开 | 公开 |
| 2022-05-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200713 |