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一种非晶硅薄膜电池的制造装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220246428.0
申请日：
2012-05-25
公开(公告)号：
CN202595254U
公开(公告)日：
2012-12-12
发明(设计)人：
邓文忠
申请人：
申请人地址：
315336 浙江省宁波杭州湾新区滨海四路南侧
IPC主分类号：
C23C1432
IPC分类号：
C23C1414
H01L3120
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-12-12 | 授权 | 授权 |
| 2016-07-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101671091396 IPC(主分类):C23C 14/32 专利号:ZL2012202464280 申请日:20120525 授权公告日:20121212 终止日期:20150525 |