一种膜层厚度检测装置、在线检测系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811064666.8

申请日：

2018-09-12

公开(公告)号：

CN110896037A

公开(公告)日：

2020-03-20

发明(设计)人：

王志鹤车星光张敏亮刘云龙刘晓琴

申请人：

申请人地址：

102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01B1106

代理机构：

北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613

代理人：

齐胜杰

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-06	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/66 变更事项:申请人变更前:东泰高科装备科技（北京）有限公司变更后:东泰高科装备科技有限公司变更事项:地址变更前:102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号变更后:102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号
2021-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20180912
2021-04-06	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 登记生效日:20210325 变更事项:申请人变更前权利人:东泰高科装备科技有限公司变更后权利人:紫石能源有限公司变更事项:地址变更前权利人:102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号变更后权利人:102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
2020-03-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种烧结料层厚度的在线检测方法及在线检测系统 [P].

温荣耀 ;

王兆才 ;

谭潇玲 .

中国专利 :CN113739709B ,2024-12-13

[2]

一种烧结料层厚度的在线检测方法及在线检测系统 [P].

温荣耀 ;

王兆才 ;

谭潇玲 .

中国专利 :CN113739709A ,2021-12-03

[3]

极片涂层厚度在线检测系统及检测方法 [P].

沙亚红 ;

刘洪江 ;

周水根 ;

方国平 ;

王文洪 .

中国专利 :CN106840052A ,2017-06-13

[4]

一种跳汰机床层厚度在线检测装置及检测方法 [P].

纪翠翠 ;

黄宋魏 ;

吕晋芳 ;

高徐千 ;

谢贤 ;

童雄 ;

和丽芳 .

中国专利 :CN114777715B ,2025-12-23

[5]

防渗膜厚度在线检测系统 [P].

王建益 ;

廖五良 ;

王小文 .

中国专利 :CN208606718U ,2019-03-15

[6]

膜层检测方法、装置及膜层检测系统 [P].

安亚斌 ;

张铁轶 ;

權基瑛 ;

闫小宝 ;

李彦生 .

中国专利 :CN107727654B ,2018-02-23

[7]

膜层厚度检测装置 [P].

刘书生 ;

阙磊 ;

魏启玉 ;

秦晨 .

中国专利 :CN218238736U ,2023-01-06

[8]

一种滤光膜厚度检测装置及检测方法 [P].

冉光普 ;

严东 ;

伍天贵 .

中国专利 :CN120141319A ,2025-06-13

[9]

一种膜电极厚度检测装置及检测方法 [P].

刘建国 ;

周扬 ;

李佳 .

中国专利 :CN114234821A ,2022-03-25

[10]

一种冷轧厚度在线检测方法及检测系统 [P].

赵奇少 ;

黄久贵 ;

陈卫 ;

刘方成 ;

张林 ;

李冉 ;

聂文金 .

中国专利 :CN115625217A ,2023-01-20

← 1 2 3 4 5 →