金属氧化膜的成膜方法、金属氧化膜及金属氧化膜的成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980158921.8

申请日：

2009-04-20

公开(公告)号：

CN102405305A

公开(公告)日：

2012-04-04

发明(设计)人：

织田容征白幡孝洋吉田章男藤田静雄亀山直季

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

C23C16448

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

胡烨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-16	授权	授权
2012-06-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101261913706 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2009801589218 申请日:20090420
2012-04-04	公开	公开

共 50 条

[1]

金属氧化膜的成膜方法、金属氧化膜及金属氧化膜的成膜装置 [P].

织田容征 ;

白幡孝洋 ;

吉田章男 ;

藤田静雄 ;

龟山直季 ;

川原村敏幸 .

中国专利 :CN102482777B ,2012-05-30

[2]

金属氧化膜的成膜方法及金属氧化膜的成膜装置 [P].

织田容征 ;

吉田章男 ;

小仓正久 ;

白幡孝洋 ;

田中修司 .

中国专利 :CN102165096A ,2011-08-24

[3]

金属氧化膜的成膜装置、金属氧化膜的制造方法及金属氧化膜 [P].

白幡孝洋 ;

织田容征 ;

吉田章男 ;

藤田静雄 ;

川原村敏幸 .

中国专利 :CN102918178B ,2013-02-06

[4]

金属氧化膜的成膜方法 [P].

平松孝浩 ;

织田容征 ;

川原村敏幸 ;

藤田静雄 ;

内田贵之 .

中国专利 :CN107683347B ,2018-02-09

[5]

金属氧化膜的成膜方法 [P].

平松孝浩 ;

织田容征 ;

川原村敏幸 ;

藤田静雄 ;

内田贵之 .

中国专利 :CN107683346B ,2018-02-09

[6]

金属氧化膜的成膜 [P].

古屋治彦 .

中国专利 :CN101302608A ,2008-11-12

[7]

氧化膜成膜方法及氧化膜成膜装置 [P].

织田容征 ;

白幡孝洋 ;

平松孝浩 .

中国专利 :CN103648974A ,2014-03-19

[8]

金属氧化膜的制造方法及金属氧化膜 [P].

白幡孝洋 ;

织田容征 ;

平松孝浩 .

中国专利 :CN104203828B ,2014-12-10

[9]

金属氧化膜的制造方法及金属氧化膜 [P].

白幡孝洋 ;

织田容征 ;

平松孝浩 .

中国专利 :CN104220375A ,2014-12-17

[10]

金属氧化膜的制造方法和金属氧化膜 [P].

白幡孝洋 ;

织田容征 ;

平松孝浩 .

中国专利 :CN104105817B ,2014-10-15

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