一种硅片翻转机构

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专利类型
实用新型
申请号
CN201821122760.X
申请日
2018-07-16
公开(公告)号
CN208385378U
公开(公告)日
2019-01-15
发明(设计)人
潘加永 戴秋喜
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区建林路666号出口加工区配套工业园35号标准厂房一楼
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
H01L3118
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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陈光 .
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[2]
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沈皓然 ;
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[3]
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靳立辉 ;
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吕原杰 ;
高翔 ;
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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