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自动硅料清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621196175.5
申请日：
2016-10-28
公开(公告)号：
CN206179841U
公开(公告)日：
2017-05-17
发明(设计)人：
轩云喜
马胜南
申请人：
申请人地址：
100000 北京市通州区宋家庄镇高辛庄村委会东700米
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L3118
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-05-17 | 授权 | 授权 |