一种具有高激光损伤阈值的激光薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910856198.6

申请日：

2019-09-11

公开(公告)号：

CN110512180B

公开(公告)日：

2019-11-29

发明(设计)人：

许程朱永巧蔡文哲李大伟

申请人：

申请人地址：

221116 江苏省徐州市铜山区大学路1号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1410 C23C1458 C23C1400 G02B110

代理机构：

江苏圣典律师事务所 32237

代理人：

程化铭

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20190911
2019-11-29	公开	公开
2021-04-13	授权	授权

共 50 条

[1]

高温环境下具有高激光损伤阈值氧化钽薄膜的制备方法 [P].

许程 ;

杨帅 ;

马浩 ;

王吉飞 ;

郭立童 ;

张含卓 ;

尹诗斌 ;

李大伟 ;

强颖怀 ;

刘炯天 .

中国专利 :CN102605333B ,2012-07-25

[2]

一种高激光损伤阈值薄膜及其制备方法 [P].

梁玉 ;

钟奇 .

中国专利 :CN113671609A ,2021-11-19

[3]

一种具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法 [P].

许程 ;

蔡文哲 ;

杨应田 ;

李大伟 .

中国专利 :CN110330236B ,2019-10-15

[4]

一种高激光损伤阈值ZrO2薄膜的制备方法 [P].

沈军 ;

杨帆 ;

孙骐 ;

王珊 ;

张勤远 ;

吴广明 ;

倪星元 ;

周斌 .

中国专利 :CN1553220A ,2004-12-08

[5]

一种高损伤阈值激光薄膜工艺技术方法 [P].

王平秋 ;

魏涛 ;

林先勇 ;

何开伦 ;

杨柳 ;

张志斌 ;

王金龙 ;

于清 ;

代礼密 ;

姚德武 ;

游中华 ;

刘卫强 ;

余小燕 ;

杨洋 ;

何坚 ;

吴杨海 ;

邓漾 ;

赵龙 .

中国专利 :CN111679347A ,2020-09-18

[6]

一种无界面高激光损伤阈值薄膜及其制备方法 [P].

陈笑迎 ;

游丽君 ;

赵丽丽 ;

宋力昕 ;

王枫 ;

郑刚 .

中国专利 :CN115478252A ,2022-12-16

[7]

一种高激光损伤阈值的超构透镜 [P].

杨朕博 ;

胡鑫 ;

王钦华 ;

孙倜 .

中国专利 :CN221926700U ,2024-10-29

[8]

一种提高高反射薄膜激光损伤阈值的方法 [P].

陈笑迎 ;

游丽君 ;

赵丽丽 ;

宋力昕 ;

郑刚 ;

王枫 .

中国专利 :CN115480393A ,2022-12-16

[9]

一种提高高反射薄膜激光损伤阈值的方法 [P].

陈笑迎 ;

游丽君 ;

赵丽丽 ;

宋力昕 ;

郑刚 ;

王枫 .

中国专利 :CN115480393B ,2024-12-13

[10]

一种提高高反射薄膜激光损伤阈值的镀制方法 [P].

焦宏飞 ;

王利 ;

张艳云 ;

鲍刚华 ;

程鑫彬 ;

王占山 .

中国专利 :CN102747328A ,2012-10-24

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