一种碳化硅基模板的热处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121841246.3

申请日：

2021-08-09

公开(公告)号：

CN215896320U

公开(公告)日：

2022-02-22

发明(设计)人：

吴亮龚建超王琦琨付丹扬

申请人：

申请人地址：

311100 浙江省杭州市余杭区余杭经济技术开发区顺风路503号3号楼五层518室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

杭州宇信联合知识产权代理有限公司 33401

代理人：

梁群兰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅粒度砂热处理装置 [P].

石勇 ;

石峰 ;

黄勇 .

中国专利 :CN214199649U ,2021-09-14

[2]

碳化硅热处理装置和方法 [P].

李养贤 ;

刘何燕 ;

郝秋艳 ;

徐学文 ;

刘彩池 ;

黄千驷 .

中国专利 :CN1667803A ,2005-09-14

[3]

一种铝碳化硅热处理设备 [P].

王林 ;

宋伟娟 .

中国专利 :CN207987295U ,2018-10-19

[4]

一种碳化硅片生产用热处理设备 [P].

贺贤汉 ;

李有群 ;

章磊 ;

董志勇 ;

孙大方 .

中国专利 :CN216790823U ,2022-06-21

[5]

碳化硅外延衬底、制造碳化硅外延衬底的方法、制造碳化硅半导体器件的方法、碳化硅生长装置和碳化硅生长装置部件 [P].

玄番润 ;

西口太郎 ;

土井秀之 ;

松岛彰 .

中国专利 :CN105579625A ,2016-05-11

[6]

碳化硅表面处理方法 [P].

余盛杰 ;

肖明 ;

廖家豪 .

中国专利 :CN121075910A ,2025-12-05

[7]

碳化硅质材料热处理用夹具 [P].

木下寿治 .

中国专利 :CN1376647A ,2002-10-30

[8]

一种碳化硅基半导体器件 [P].

何佳 ;

张长沙 .

中国专利 :CN217239473U ,2022-08-19

[9]

一种冶金脱氧用碳化硅的热处理设备 [P].

张继涛 ;

陈万宝 ;

曹渊博 ;

王少利 .

中国专利 :CN215984015U ,2022-03-08

[10]

一种碳化硅基电路板 [P].

曾清隆 ;

陈泽同 .

中国专利 :CN204424250U ,2015-06-24

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