一种改善晶圆抛光平整度的抛光设备

被引：0

申请号：

CN202221379808.1

申请日：

2022-06-06

公开(公告)号：

CN217992073U

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

宁富生

申请人：

申请人地址：

201304 上海市浦东新区书院镇丽正路1628号4幢1-2层

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24B4104 B24B5100 B24B5502

代理机构：

上海海贝律师事务所 31301

代理人：

范海燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置 [P].

李雨 ;

王燚迪 ;

范存冬 ;

周美琪 .

中国专利 :CN222779359U ,2025-04-22

[2]

一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置 [P].

马睿 ;

蒋昌朋 .

中国专利 :CN214186666U ,2021-09-14

[3]

晶圆抛光设备 [P].

时岱 ;

吴楠 ;

杨军 ;

包斌 .

中国专利 :CN215547738U ,2022-01-18

[4]

晶圆抛光设备 [P].

孟晓云 ;

周庆亚 ;

张晓阳 ;

贾若雨 ;

白琨 ;

李嘉浪 ;

吴燕林 .

中国专利 :CN222537291U ,2025-02-28

[5]

一种抛光平整度检测设备 [P].

刘法良 .

中国专利 :CN220592786U ,2024-03-15

[6]

一种基于晶圆的抛光头和晶圆抛光设备 [P].

周大伟 ;

金亮 ;

金孟豪 ;

张峰 ;

姜建民 ;

盛湘远 .

中国专利 :CN223084505U ,2025-07-11

[7]

晶圆抛光设备 [P].

汪海亮 ;

刘路 .

中国专利 :CN221936399U ,2024-11-01

[8]

晶圆抛光设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221640511U ,2024-09-03

[9]

一种玻璃晶圆抛光设备 [P].

万峰 .

中国专利 :CN214054858U ,2021-08-27

[10]

可以修整抛光晶片平整度的抛光头 [P].

朱蓉辉 ;

惠峰 ;

卜俊峰 ;

郑红军 ;

赵冀 .

中国专利 :CN101028699A ,2007-09-05

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