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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2008-11-12 | 授权 | 授权 |
| 2006-09-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2013-03-27 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101416718218 IPC(主分类):C23C 8/10 专利号:ZL2006100201843 申请日:20060120 授权公告日:20081112 终止日期:20120120 |
| 2006-07-19 | 公开 | 公开 |