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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-01-23 | 公开 | 公开 |
| 2013-03-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101405722616 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011102040419 申请日:20110720 |
| 2017-12-19 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人 变更前:上海微电子装备有限公司 变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 变更后:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 |
| 2015-07-22 | 授权 | 授权 |